特種氣體在集成電路領(lǐng)域的應用：特種氣體是半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料，處于半導體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游，被稱為半導體的“源”，主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。特種氣體從應用領(lǐng)域來看，主要包括電子氣體、標準氣體、食品氣體、電光源氣體等，其中，電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產(chǎn)業(yè)的加工制造過程，是下游的行業(yè)關(guān)鍵性化工基礎材料，被譽為電子產(chǎn)業(yè)的“血液”。我國特種氣體行業(yè)在 2006 年后進入快速發(fā)展階段，廣泛應用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環(huán)保和新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，
特種氣體的儲存注意事項：高壓容器內(nèi)，存有內(nèi)容物時，無論內(nèi)容量多少，在該容器儲存場地2m內(nèi)，嚴禁明火或放置燃、可燃物。場所的環(huán)境溫度≤40℃為佳。特種氣體的儲存注意事項：儲存場地的道路，應占整個場地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區(qū)分存放。充填容器入庫前需檢漏，長期存放的充填高壓容器需要每月復檢一次，并做記錄。20 世紀 80 年代，電子產(chǎn) 業(yè)的興起推動特種氣體的需求提高，隨著氣體供應商供氣模式的引入，國內(nèi) 企業(yè)原有的氣體車間、氣體廠和供氣站等紛紛發(fā)展為獨立的氣體公司，國內(nèi)特種氣體市 場逐步發(fā)展起來。
特種氣體分類：高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達到的某個等級純 度的氣體，對于不同類別的氣體，純度指標不同，大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領(lǐng)域；我國特種氣體行業(yè)在 2006 年后進入快速發(fā)展階段，廣泛應用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環(huán)保和新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標準氣體三大類，電子特種氣體（簡稱電子特氣）是特種氣體的 一個重要分支，是超大規(guī)模集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、LED、OLED）、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不 可或缺的原材料。
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